زیرلایه نیترید آلومینیوم

مولایتلایه(3 a1203. 2Si02): یکی از پایدارترین فازهای کریستالی در سیستم باینری A1203-Si02 است، اگرچه مقاومت مکانیکی و هدایت حرارتی در مقایسه با A1203 کم است، اما ثابت دی الکتریک آن Low است، بنابراین انتظار می رود سیگنال را بیشتر بهبود بخشد. سرعت انتقال ضریب انبساط حرارتی نیز کم است، که می تواند تنش حرارتی LSI را کاهش دهد، و تفاوت در ضریب انبساط حرارتی مواد هادی Mo، W کم است، در نتیجه تنش کم بین هادی در طول چرخه وجود دارد.

آلومینیومبستر نیترید:
آ. ماده خام: AIN یک حضور غیر طبیعی است اما یک کانی مصنوعی در سال 1862 است که برای اولین بار توسط Genther و همکارانش سنتز شد. نمایش پودر Aln برای کاهش روش نیترید و روش نیتریداسیون مستقیم است. اولی با کاهش کربن خلوص بالا در A1203 واکنش می دهد و سپس با نیتروژن واکنش می دهد و دومی مستقیماً نیتروژن می شود. ;

ب روش ساخت: A1203لایهساخت را می توان در ساخت بسترهای AIN استفاده کرد، که در آن حداکثر استفاده از روش لمینیت آلی، یعنی پودر مواد خام AIN، یک چسب آلی، و یک حلال، مخلوط سورفکتانت، دوغاب سرامیکی، پاسکاری شده، لمینت، پرس داغ، چربی زدایی، سوزاندن

ج) ویژگی های بستر AIN: AIN بیش از 10 برابر است و CTE با ویفر سیلیکونی مطابقت دارد. ماده AIN نسبتاً با A1203 مرتبط است، مقاومت عایق، عایق و ثابت دی الکتریک کمتر است. این ویژگی ها برای کاربردهای بستر بسته بندی بسیار نادر است.

د کاربرد: برای ماژول تقویت کننده برق تسمه فرکانس VHF (فرکانس فوق العاده بالا)، دستگاه با قدرت بالا و زیرلایه دیود لیزر استفاده می شود.