انواع نیترید سیلیکون

انواع نیترید سیلیکون
از آنجایی که خواص مواد به شدت به روش ساخت بستگی دارد، نیترید سیلیکون را نمی توان به عنوان یک ماده واحد در نظر گرفت. سه نوع اصلی نیترید سیلیکون عبارتند از:

نیترید سیلیکون پیوند شده با واکنش (RBSN)
نیترید سیلیکون فشرده داغ (HPSN)
نیتریدهای سیلیکون متخلخل (SSN)
نیترید سیلیکون پیوند شده با واکنش با نیتریداسیون مستقیم پودر سیلیکون فشرده ساخته می شود و به دلیل دشواری اطمینان از واکنش کامل، دستیابی به چگالی اجزای بالا دشوار است. چگالی معمول در محدوده 2300 - 2700kg.m-3 در مقایسه با 3200kg.m-3 برای نیترید سیلیکون فشرده و متخلخل است. چگالی بالاتر به مواد HPSN و SSN خواص فیزیکی بهتری می دهد و به این معنی است که آنها در برنامه های کاربردی تر مورد استفاده قرار می گیرند. نیتریداسیون تنها یک تغییر حجم کوچک ایجاد می کند، به این معنی که اجزای RBSN پس از ساخت نیازی به ماشینکاری ندارند و اشکال پیچیده نزدیک به شبکه را می توان در یک مرحله واحد تولید کرد.